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产物分类热辅助磁记录介质的非接触HAM/RTAMR评估系统( 显微镜/测振/磁光克尔) 产物总览 产生磁场±6.5T的热(Thermal)辅助磁记录介质(HAMR或TAMR)非接触评估系统。
1um高分辨率光束质量分析仪 350-1310nm 产物应用 激光光束分析:轮廓,光束尺寸,位置,功率 激光光束质量分析 多波长激光准直
用于宽带深紫外 (DUV) 和 EUV / XUV 光的旋光仪(偏振仪) 产物总览 (Polarimeter for broadband deep UV (DUV) & EUV / XUV light ) 深紫外和极紫外范围内的旋光仪具有科学应用。我们提供的旋光仪系统可提供数百个垂直取向偏振方向的消光比。旋光仪可根据您的应用需求进行定制。旋光仪系统设计紧凑,符合 UHV 等级。
高速波前传感器 400-800nm 光束直径2.0-4.6mm 产物总览 PULSTEC该传感器基于Shack-Hartmann方法,能够实时测量光源和光学像差。
2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪 产物总览 具有高分辨率和效率的多功能光谱仪 随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展,极紫外辐射(EUV、XUV)已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。